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铬版的清洗、修补、保存

铬版清洗方法

  方法有很多,目前较有效的清洗方法是:
(1) 铬版的局部清洁方法: A、 首先使用净化气吹去铬版的表面杂物. B、 取一清洁的全新无尘布醮DI水,对发现的局部脏点沿一个方向进行擦拭。 C、 再取一清洁的全新无尘布沾取经蒸馏的分析纯酒精,沿DI水的擦拭方向进行多次的擦除。
(2) 铬版的整版清洗方法: 配制3%-5%的NaOH溶液并过滤,将铬版完全起浸入NaOH溶液中(浸入前先要用无尘气枪吹静铬版表面,以防止玻璃屑类的异物),使用清洁的全新无尘布对浸在溶液中的铬版表面进行擦洗(也要求擦洗背面),NaOH溶液擦洗时间不可超过10分钟。
  在使用NaOH溶液擦洗时需注意铬版的表面不可与清洗槽或其他物体接触,以免划伤铬版表面;使用NaOH溶液擦洗后,需用大量流动DI水冲洗,冲洗必须完全和彻底,冲洗时间不可小于10分钟。冲洗中同样要注意避免导致铬版表面的划伤的因素。清洗后的铬版需竖直存放在固定的位置,并使用含有经高效过滤净化气分别在铬版的两个表面从左至右从上至下吹赶留存在玻璃表面的DI水或用无尘箱烘干。另外,要注意避免使用气枪吹赶DI水时DI水 的反弹现象(反弹的DI水会造成铬版表面的水迹)。

铬版保存方法

  光罩为硬性掩膜版,为防止其变形,需要竖直存放,为了保证掩膜版表面的洁净度,一般要保存在1000级以上的无尘室内,温度:21±5℃,湿度要维持在40-60%RH左右。另外光罩材料基板是玻璃,如果需要对光罩保存,则需要保持在干燥的环境里,以防止玻璃出现发霉现象,影响光学性能。
  为了尽可能地避免划、碰伤,影响光罩寿命,使用时要轻拿轻放,曝光前必须对光检查光罩表面是否有硬性颗粒,在曝光过程中也需要经常用净化后的压缩气体或氮气清除光罩表面的玻璃碎片,使用完毕,应将光罩表面重新清洗洁净,干燥后再保存。
  由于铬版上的图形是金属铬(chrome),它的硬度非常大,和玻璃接近,因此它的耐划伤性能非常高,一般硬度较小的物体不会对其造成划伤。但如果在使用过程中存在玻璃屑,在接触情况下,铬版的表面就很容易受到损伤,严重时会造成顶伤。

  铬版划伤一般分为三种,一种是铬层在外力作用有一划伤印,但划伤处并不透光,这种划伤对曝光并不影响,不需要进行修补;另一种是划伤处的铬层透光,但玻璃基版没有损伤,这种划伤较严重,需要修补;还有一种严重划伤,严格来说应该叫顶伤,它不仅铬层受到破坏,而且玻璃基版也受到损坏,如果玻璃基版损坏处仅仅是在线条下的玻璃基版,则可进行修补,但如果出现非线条处的玻璃基版受到损伤的情况,则无法进行修补。

 
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