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大尺寸光罩

主要应用领域:
  主要应用于LCD、TFT、CF、Touch Panel、OLED、PDP等平板显示行业;HDI、FPC等PCB行业。
Applications:
  Mainly used in LCD、TFT、CF、Touch Panel、OLED、PDP and other flat panel display industry;HDI、FPC and other PCB industry.
 
铬版精度 Chrome Mask SpecificationsStandard Size:430mmx430mm
 
精度 / 级别
Items / Class
最高精度
Grade 1
高精度
Grade 2
中精度
Grade 3
一般精度
Grade 4
最小线宽/线缝
Min.Line/Space Width
0.75μm/0.75μm 5μm/5μm 10μm/10μm
20μm/20μm
线条精度
CD Control
±0.15μm(QZ)
±0.5μm
±1.0μm
±2.0μm
总长精度
Total Pitch Accuracy
±0.5μm(QZ)
±1.0μm
±2.0μm
±2.0μm
图形位置精度
Registration Accuracy
±0.5μm(QZ)
±1.0μm
±2.0μm
±3.0μm
套合精度
Overlay Accuracy
±0.5μm(QZ)
±1.0μm
±2.0μm
±3.0μm
垂直精度
Orthogonality
±0.75μrad
±2.0μrad
±3.0μrad
±4.0μrad
铬版材料 Substrate(Photomask blank phate)
 材料 Material Soda Lime GlassQuartz
 最大尺寸Max. Size 850mm*1400mm
 常规尺寸Normal Size
420mmx520mm,520mm*610mm,520mm*800mm,700mm*800mm,
800mm*920mm,800mm*960mm,850mm*1200mm,850mm*1400mm
 厚度 Thickness

2.3±0.2mm,3.0±0.2mm ,4.8±0.2mm ,7.8±0.2mm,
5.0±0.2mm(QZ),8.0±0.2mm(QZ),10.0±0.2mm(QZ)

 铬膜 Film Type Low Reflectance Chrome
 光学密度Optical Density(λ=450nm) Between Plates3.0±0.3 In Plate±0.3
 反射率Reflectivity(λ=436nm) Between Plates10±5% In Plate±2%
 
 
 
 
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